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一种晶片接合方法与装置，其包括一具平移及旋转调整功能的晶圆工作台、一具晶片角度偏差量调整功能的晶片取放机构及一将导线架定位于接合位置的导线架输送机构；而本发明的晶片接合方法，在于依所述晶圆工作台上的一视觉检测单元的检测结果，晶圆工作台配合晶...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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