下载铁电存储器及其制作方法的技术资料

文档序号:3221015

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

在一个保护膜9中形成一个与上置电极15相通的接触孔,在接触孔中形成一个材料与用于上置电极15的材料相同的导电体13,它连着上置电极15并延伸到接触孔之外。导电体13通过一个连线层14电连接于一存储单元晶体管。...
该专利属于日本电气株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电气株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。