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铁电存储器及其制作方法技术
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文档序号:3221015
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在一个保护膜9中形成一个与上置电极15相通的接触孔,在接触孔中形成一个材料与用于上置电极15的材料相同的导电体13,它连着上置电极15并延伸到接触孔之外。导电体13通过一个连线层14电连接于一存储单元晶体管。...
该专利属于日本电气株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电气株式会社授权不得商用。
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