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用于半导体装置的检测图形包括至少一个检测图形槽和一个空置互连。检测图形槽形成于覆盖半导体基片的表面的层间隔离膜内或下部的互连。通过在检测图形槽中埋入金属材料形成与检测图形槽相交的空置互连。互连具有一暴露于象凹槽的开口部分的侧壁且其用于检测这...
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