下载形成动态随机存取存储器的方法的技术资料

文档序号:3220908

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种形成动态随机存取存储器的方法,包括:在一基底上形成一转移晶体管,转移晶体管包括一位于基底的栅氧化层上方的栅极以及栅极下的通道区两旁的一第一与一第二源极/漏极区;暴露出第一与第二源极/漏极区;淀积一氮化硅层,然后淀积一厚氧化硅层;对厚氧化...
该专利属于联华电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联华电子股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。