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本发明涉及一种用于确定光束状态，特别是用于确定光束焦点位置的光束分析装置。所述光束分析装置包括部分光束成像装置(10)，所述部分光束成像装置(10)具有至少一个用于从所述第一测量光束(40)的第一部分孔径区域形成第一部分光束(41)的第一选...
该专利属于普莱姆斯激光测量技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过普莱姆斯激光测量技术有限公司授权不得商用。

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