下载用于抗反射或吸收辐射涂层的组合物及用于该组合物的化合物的技术资料

文档序号:3220123

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一种用于抗反射或吸收辐射涂层的组合物,该涂层在100~450nm范围内对曝光辐射具有高吸收率,光产生的酸在抗反射涂层上不会扩散,并且抗蚀层和抗反射涂层不会混合,且具有良好的贮存稳定性和良好的步进式覆盖,同时提出并公开了用于这种组合物的新的化...
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