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与半导体上绝缘通孔中的铜金属化层接触的方法和结构技术
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下载与半导体上绝缘通孔中的铜金属化层接触的方法和结构的技术资料
文档序号:3220095
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在半导体晶片上的通孔中形成元素铜的方法包括以下步骤:提供具有已构图的铜层的晶片;在所说铜层上提供绝缘层;在所说绝缘层中开出通孔;将所说晶片置于还原环境中,将所说通孔中铜上的氧化铜还原成元素铜;然后,在不将晶片暴露于氧化环境的条件下,在所说通...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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