温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种进样装置，包括尾吹管道(01)、置换气管道(02)和进样管道(03)，进样管道(03)的两端分别与尾吹管道(01)和置换气管道(02)连接，尾吹管道(01)还与置换气管道(02)连接。本实用新型的进样装置，由简单的气路管...
该专利属于青海亚洲硅业半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青海亚洲硅业半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。