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一种用灯管装置加热和退火放入腔室内的产品晶片的灯管退火炉。这种退火炉包括装载产品晶片的第一腔室，仅仅装载样本晶片与第一腔室邻近的第二腔室，测量第一腔室和第二腔室内的温度的高温计，和加热第一腔室和第二腔室内的晶片的灯管。样本晶片被周期性地放入...
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