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制造集成半导体存储装置的方法制造方法及图纸
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文档序号:3219931
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制造具有多个存储电容器的集成半导体存储装置的方法,其中各第一电极(12、22、32、42)是片状结构,并且上下拉开一定距离平行于半导体存储装置的一主表面(8)排列,并分别通过接触头(14、24、34、44)与一存储单元的一选择晶体管电气连接...
该专利属于西门子公司所有,仅供学习研究参考,未经过西门子公司授权不得商用。
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