下载一种新结构中转装置的技术资料

文档序号:32198913

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本实用新型公开了一种新结构中转装置,包括用于半导体物料中转传输的工作台,工作台的左右两侧对称设有支撑座,支撑座的内壁上固定连接有用于装设传动带的直线导轨,两个支撑座间固定连接有多个平行排列的滑杆,在直线导轨与其相向的支撑座间还设有活动导轨,...
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