下载邻近字线侧壁形成的垂直器件和用于半导体芯片的方法的技术资料

文档序号:3219432

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一种半导体器件,包括形成了沟槽的衬底,该沟槽包括设置在沟槽内的存贮节点。在衬底内和邻近一部分该衬底设置字线。包括有垂直设置的晶体管,其中字线用作为栅极,存贮节点和位线用作为源极和漏极之一个,使得当字线被通电时,该晶体管在存贮节点和位线之间导...
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