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在半导体器件内安置在支撑架上的电容器及其制造方法技术
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下载在半导体器件内安置在支撑架上的电容器及其制造方法的技术资料
文档序号:3219431
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具有高ε介电质或铁电质的电容器介电材料(9)的电容器,其含贵金属的存储电极安置在具有多个薄片(5↓[1])并与载体连接的支撑架上。支撑架可以例如通过具有交替的低或高的腐蚀率的层系列的淀积,对层结构的腐蚀,形成连接部件以及以高腐蚀率选择性除去...
该专利属于西门子公司所有,仅供学习研究参考,未经过西门子公司授权不得商用。
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