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通过将含有光学元件的衬底粘合或通过在晶片衬底的任一侧设置光学元件，可形成集成的多个光学元件。晶片被接着切成块以得到各自独立的单元。最好对每个切成的块密封以防止在晶片之间出现切割浆料。光学元件可以用光刻法直接形成，或用光刻法产生的掩模使元件模...
该专利属于数字光学公司所有，仅供学习研究参考，未经过数字光学公司授权不得商用。

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