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带叠置电容器的存储器单元制造技术
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下载带叠置电容器的存储器单元的技术资料
文档序号:3218634
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一种半导体存储器单元,包括连接到存储电容器的场效应晶体管,电容器为单元的硅芯片表面上的多个叠层。通过在覆盖芯片表面的氧化硅层中的杯形接触孔表面上的三个保形层形成电容器。...
该专利属于西门子公司所有,仅供学习研究参考,未经过西门子公司授权不得商用。
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