下载还原炉的炉筒冷却装置及多晶硅还原装置的技术资料

文档序号:32181692

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本申请提出一种还原炉的炉筒冷却装置及多晶硅还原装置,所述还原炉的炉筒冷却装置包括:夹套,所述夹套包围所述还原炉的炉筒,在所述夹套和所述炉筒之间形成冷却空间,进口,所述进口设置于所述夹套,用于向所述冷却空间通入传热介质;以及出口,所述出口设置...
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