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还原炉的炉筒冷却装置及多晶硅还原装置制造方法及图纸
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下载还原炉的炉筒冷却装置及多晶硅还原装置的技术资料
文档序号:32181692
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本申请提出一种还原炉的炉筒冷却装置及多晶硅还原装置,所述还原炉的炉筒冷却装置包括:夹套,所述夹套包围所述还原炉的炉筒,在所述夹套和所述炉筒之间形成冷却空间,进口,所述进口设置于所述夹套,用于向所述冷却空间通入传热介质;以及出口,所述出口设置...
该专利属于森松(江苏)重工有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过森松(江苏)重工有限公司授权不得商用。
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