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在蓝宝石（Ａｌ↓［２］Ｏ↓［３］）衬底１１的（０００１）晶面上形成ＧａＮ膜１２后，通过湿腐蚀而留下岛状ＧａＮ膜１２。该岛状的ＧａＮ膜１２的上部由单晶体层构成。通过进行外延生长而留下岛状的ＧａＮ膜１２，就可以获得几乎没有晶体缺陷的ＧａＮ膜１２...
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