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用紫外激光输出切断导电链路的方法技术
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文档序号:3217999
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紫外(UV)激光输出利用了材料的光吸收特性,由此,导电链路(42)、下边的半导体基片(50)、钝化层(48和54)在高效地除去链路(42)时基片(50)不受损坏。UV激光输出因为其波长短,所以形成比传统IR激光链路熔断更小的点直径(58),...
该专利属于电子科学工业公司所有,仅供学习研究参考,未经过电子科学工业公司授权不得商用。
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