下载叠置芯片载体的激光切割的技术资料

文档序号:3217715

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从板切割叠置芯片载体的方法和相关结构,板的厚度小于约100密耳。激光束聚焦在板的表面,板相对于激光束按几何图形移动,由此板的单元(例如,芯片载体)从板上切掉。...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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