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埋入的金属双重镶嵌板电容器制造技术
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下载埋入的金属双重镶嵌板电容器的技术资料
文档序号:3217683
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金属电容器由晶片的BEOL中的金属双重镶嵌工艺的一部分构成。电容器的下极板(27)夹在绝缘层(25)与介质层(29)之间。对边上的绝缘层邻接金属层(23,24),并且介质层把电容器的下极板层(27)与上极板层(59)分隔开。下极板的一部分(...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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