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含p型掺杂剂的氧化锌膜及其制造方法技术
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文档序号:3217657
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公开了一种p型氧化锌膜及制造该膜和p-n或n-p结的方法。在优选实施例中,p型氧化锌膜含砷,生长在砷化镓衬底上。p型氧化锌膜的净受主浓度至少为约10↑[15]受主/cm↑[3],电阻率低于约1欧姆厘米,霍尔迁移率在约0.1-50cm↑[2]...
该专利属于密苏里大学所有,仅供学习研究参考,未经过密苏里大学授权不得商用。
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