下载一种基于相变材料的可控超表面结构及其制备方法的技术资料

文档序号:32173733

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于微电子技术领域,具体公开了一种基于相变材料的可控超表面结构及其制备方法,该结构从下至上依次包括:衬底、底电极层、透明绝缘层和顶电极层;透明绝缘层中设置有超表面单元和多个微电极柱,超表面单元的上、下表面均连接微电极柱,或者超表面单元...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。