温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明揭示一种原位除去附在离子束注入机（１０）内表面上污物的方法。所述方法包括以下步骤：从源物质放出离子，并使离子形成离子束（１４），所述离子束通过一抽真空区，到达一离子注入室（１７）；提供一个控制电子装置（１１），用于控制在所述抽真空区内...
该专利属于艾克塞利斯技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾克塞利斯技术公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。