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本发明提供了一种胶体状硅石淤浆，其特征是在胶体状硅石中添加５～１００ｐｐｍ的过氧化氢构成。该胶体状硅石淤浆不会对硅片及硅片上的配线材料产生腐蚀等不良影响，并且可以抑制微生物产生。同时，由于胶体粒子的粒径稳定性优良，所以保存稳定性高，可长期连...
该专利属于扶桑化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过扶桑化学工业株式会社授权不得商用。

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