专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
联合讯号公司
>
衬底上形成介电膜的方法技术
>技术资料下载
下载衬底上形成介电膜的方法的技术资料
文档序号:3216894
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
在衬底上用组合物形成介电膜的方法,所述组合物中含有机氢化硅氧烷树脂。该有机氢化硅氧烷树脂有笼形构象。介电膜形成方法包括使溶剂和有机氢化硅氧烷树脂形成溶液,将溶液分布在衬底上,烘烤衬底除去溶剂,并使之固化形成介电膜。本发明的介电膜的介电常数为...
该专利属于联合讯号公司所有,仅供学习研究参考,未经过联合讯号公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。