下载衬底上形成介电膜的方法的技术资料

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在衬底上用组合物形成介电膜的方法,所述组合物中含有机氢化硅氧烷树脂。该有机氢化硅氧烷树脂有笼形构象。介电膜形成方法包括使溶剂和有机氢化硅氧烷树脂形成溶液,将溶液分布在衬底上,烘烤衬底除去溶剂,并使之固化形成介电膜。本发明的介电膜的介电常数为...
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