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双重金属镶嵌结构的制造方法技术
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文档序号:3216749
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一种双重金属镶嵌结构的制造方法包括:提供一基底,基底上具有一绝缘层,绝缘层中具有一双重金属镶嵌式开口,在此开口中覆盖衬层与金属层,再覆盖一层顶盖层,以金属层研磨液或顶盖层研磨液进行顶盖层的化学机械研磨,将双重金属镶嵌式开口以外上方的顶盖层研...
该专利属于联华电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过联华电子股份有限公司授权不得商用。
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