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基于低相干光串联干涉的量块长度校准装置和校准方法制造方法及图纸
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下载基于低相干光串联干涉的量块长度校准装置和校准方法的技术资料
文档序号:32165182
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本发明提供了一种基于低相干光串联干涉的量块长度校准装置和校准方法,包括有远程校准系统、实验室校准系统和控制系统。本发明通过光纤的连接远程校准系统和实验室校准系统,依靠补偿光程差的原理,来实现对远程现场量块的测量。由于实验室校准系统和远程校准...
该专利属于河北大学所有,仅供学习研究参考,未经过河北大学授权不得商用。
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