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低温牺牲氧化物的生成制造技术
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文档序号:3216507
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用于生产半导体器件的沉积牺牲氧化物的方法,其中包括在半导体晶片(300)上制备P型硅掺杂区(306)以便在P型硅掺杂区(306)上沉积牺牲氧化物(302)。该方法还包括将晶片安放在电化学槽(100)中的步骤,这样使得包含电解质的溶液(312...
该专利属于因芬尼昂技术北美公司所有,仅供学习研究参考,未经过因芬尼昂技术北美公司授权不得商用。
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