下载薄膜晶体管及其制造方法和包括该晶体管的半导体器件的技术资料

文档序号:3216104

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本发明公开了一种半导体器件、一种薄膜晶体管和形成薄膜晶体管的方法。根据本发明的半导体器件包括顶部栅极型薄膜晶体管,所述的顶部栅极型薄膜晶体管形成在衬底上,所述的顶部栅极型薄膜晶体管包括:沉积在所述衬底上的绝缘层;由金属掺杂剂化合物形成的源电...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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