下载化学惰性的兆赫声波换能器系统的技术资料

文档序号:3215991

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一种兆赫声波清洗系统,包括一个容器,一个谐振器,一个压电晶体(130)和一个用于将该谐振器连接于该压电晶体的铟层(138)。该容器包括一个用于保存一定体积清洗溶液的液体室。该谐振器选自蓝宝石、石英、碳化硅、氮化硅和陶瓷。该谐振器构成该容器的...
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