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化学机械平整方法、氧化铝粉浆料的用途和定制加工的磨料技术
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文档序号:3215742
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本发明涉及一种CMP方法,它采用含有α氧化铝颗粒的氧化铝,所述氧化铝颗粒的宽度小于50nm,表面积至少为50m↑[2]/gm。...
该专利属于圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司授权不得商用。
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