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一种柱脚型储存节与其接触插塞的制造方法。首先，提供一基底，表面具有一第一绝缘层。在第一绝缘层中形成至少一接触孔。在接触孔内依次填入导电层及阻障层，阻障层高度稍低于接触孔表面，而形成浅凹洞，使易沉积顺应性覆盖阻障层及第一绝缘层表面的金属晶种层...
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