温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实新型提供一种双轴微机械系统换能器结构，其包括：固定基板；可移动基板，其悬置于固定基板上方；多个第一锚定结构，其设置于可移动基板的外侧；多组折叠梁，其设置于可移动基板的外侧，且每组折叠梁均包括相互垂直正交的第一折叠梁和第二折叠梁，第一折叠...
该专利属于美新半导体（天津）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美新半导体（天津）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。