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本发明涉及一种用于测量包括多个界面的光学元件(1000)的界面(103)的形状的方法和设备(1)，该设备(1)包括：测量装置(4000、6000、7000)，其具有由低相干源(402、612、712)照射的至少一个干涉测量传感器，其配置为将...
该专利属于FOGALE纳米技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过FOGALE纳米技术公司授权不得商用。

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