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光学相控阵系统及其制备方法技术方案
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文档序号:32135025
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本发明提出了一种光学相控阵系统及其制备方法,光学相控阵系统包括:依次连接的光波导阵列、相位控制器阵列、光波导光栅阵列、电极单元、包层;光波导光栅阵列与相位控制器阵列连接,电极单元设置在光波导光栅阵列的两端,光波导光栅阵列被包层包裹,经分光后...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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