温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于极性可控材料技术领域，本发明提供了一种极性可控氧化锌薄膜及其制备方法，本发明的制备方法包含如下步骤：将蓝宝石衬底置于真空腔室中，在真空条件下，采用阴极弧放电去除锌靶材表面的污染物；在氧气气氛下，通过调节正负偏压在蓝宝石衬底上沉积锌...
该专利属于北京师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京师范大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。