下载一种微型LED字符显示芯片的制作方法的技术资料

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本发明公开了一种微型LED字符显示芯片的制作方法,包括以下步骤:在外延片的表面制作P、N欧姆接触电极;在晶圆旋涂光刻胶,之后蚀刻去除非发光区,形成独立的发光字段;在晶片沉淀二氧化硅绝缘膜,制作通孔;在晶片表面依次设置聚酰亚胺膜与正型光刻胶膜...
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