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多晶硅薄膜和单晶硅薄膜被制作在淀积于绝缘衬底上的二氧化硅膜上。用对非晶硅薄膜进行热晶化的方法来生长多晶硅层，以便形成多晶硅薄膜。（ａ）其上具有二氧化硅膜和（ｂ）其中具有氢离子注入部分的单晶硅衬底，被键合到已经经受过腐蚀清除的多晶硅薄膜区域，...
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