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投影光学系统、其制造方法、曝光装置及曝光方法制造方法及图纸
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文档序号:3212074
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一种投影光学系统,将第一面(R)的影像形成在第二面(W)上。投影光学系统具备以属于立方晶系的结晶材料所形成的至少两个结晶穿透部材。至少两个结晶穿透部材的结晶轴[111]、结晶轴[100]以及结晶轴[110]中的任何一个结晶轴与光轴间的角度偏...
该专利属于尼康株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过尼康株式会社授权不得商用。
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