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偏移检测装置制造方法及图纸
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文档序号:32117640
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本申请实施例提供一种偏移检测装置,用于感测轨道的偏移,包括:传动杆,包括连接的第一区域及第二区域;第一接触单元,与传动杆连接并设于第一区域;第二接触单元,与传动杆连接并设于第一区域,第一接触单元与第二接触单元间隔设置于传动杆的同一侧标尺单元...
该专利属于中天电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中天电子材料有限公司授权不得商用。
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