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半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:3211635
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本发明的目的在于提供一种闸流晶体管型的半导体装置及其制造方法,其在硅底板20上设置电极端子13、14时,即使使用现有技术的制造装置,也能够防止因电极端子13、14的大幅度倾斜而与硅底板20发生接触,同时,即使硅底板20发生翘曲,也能够防止电...
该专利属于新电元工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过新电元工业株式会社授权不得商用。
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