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本实用新型公开了一种新型结构等离子体发生装置,该等离子体发生装置包括绝缘基座,顶面开设有多个呈阵列式分布的沉槽,各沉槽平行设置;等离子体发生模块包括:多个正电极和多个U型结构的负电极,各正电极设在各沉槽内,且各正电极通过导线与高压脉冲电源电...该专利属于西安空天紫电等离子体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安空天紫电等离子体技术有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种新型结构等离子体发生装置,该等离子体发生装置包括绝缘基座,顶面开设有多个呈阵列式分布的沉槽,各沉槽平行设置;等离子体发生模块包括:多个正电极和多个U型结构的负电极,各正电极设在各沉槽内,且各正电极通过导线与高压脉冲电源电...