下载高压处理装置和高压处理方法的技术资料

文档序号:3211525

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及高压处理装置和高压处理方法,不仅简单地从供给喷嘴(13、13)向基板(W)的表面供给处理流体,而且由各个供给喷嘴13供给的处理流体的流动方向(R1,R1),在基板(W)表面内相互错开。因此,在基板(W)的表面上,形成处理流体的旋转...
该专利属于大日本网目版制造株式会社;株式会社神户制钢所所有,仅供学习研究参考,未经过大日本网目版制造株式会社;株式会社神户制钢所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。