下载碳纳米管式集成场效应管及其制备工艺的技术资料

文档序号:3211418

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本发明涉及一种使用碳纳米管能够实现场效应管的集成及其制备工艺;该集成场效应管是在绝缘层上制作相间的栅极和电极,将一根超长碳纳米管放置于其上;在一些栅极上通一定值恒压,使超长碳纳米管部分截止;其效果等效为若干个碳纳米管场效应管,实现了碳纳米管...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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