专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
中国科学院物理研究所
>
碳纳米管式集成场效应管及其制备工艺制造技术
>技术资料下载
下载碳纳米管式集成场效应管及其制备工艺的技术资料
文档序号:3211418
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种使用碳纳米管能够实现场效应管的集成及其制备工艺;该集成场效应管是在绝缘层上制作相间的栅极和电极,将一根超长碳纳米管放置于其上;在一些栅极上通一定值恒压,使超长碳纳米管部分截止;其效果等效为若干个碳纳米管场效应管,实现了碳纳米管...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。