下载用于P-型SiC的电极的技术资料

文档序号:3210980

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本发明的目的是提供一种用于p-型SiC的电极,它能够提供改良的表面形态和减少由于电极的形成而产生的对半导体晶层的热损害。本发明中制造的p-型电极包含选自镍(Ni)、钴(Co)、钯(Pd)和铂(Pt)中的至少一种。...
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