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一种晶化设备，其特征在于包括：发光光学系统（２），其向未晶化半导体膜（４）发射具有均匀强度分布的光束，以致用该光束照射未晶化半导体膜（４）以晶化未晶化半导体膜（４）， 晶化设备还包括： 光转换元件（３），其把具有均匀强度分布的光...
该专利属于株式会社液晶先端技术开发中心所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社液晶先端技术开发中心授权不得商用。

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