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防振装置、平台装置及曝光装置制造方法及图纸
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下载防振装置、平台装置及曝光装置的技术资料
文档序号:3210566
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一种防振装置,其特征在于包括: 保持物体的保持构件; 借由一个内部气体的压力而在重力方向支持前述保持构件的第一气体室; 在与前述第一气体室连通,且具有较前述第一气体室小的内容积的第二气体室; 变化前述第二气体室的内容...
该专利属于尼康株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过尼康株式会社授权不得商用。
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