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有效抑制氧化镓晶体缺陷的生长装置制造方法及图纸
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下载有效抑制氧化镓晶体缺陷的生长装置的技术资料
文档序号:32101824
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本实用新型公开了有效抑制氧化镓晶体缺陷的生长装置,包括保温筒、坩埚和保温盖,还包括避免杂质影响设备损坏的过滤结构、便于观察晶体生长的观察结构和保证晶体生长质量的抑制结构,所述保温筒内部底端的中间位置处安装有坩埚,且坩埚的内部设置有保护层,所...
该专利属于珠海经济特区方源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海经济特区方源有限公司授权不得商用。
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