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一种具有微机电系统的半导体器件，其特征在于包括：　　　　集成电路形成于其上的半导体衬底（１）；　　　　许多单元（２），其形成在所述半导体衬底上并包括在第一电子信号的基础上进行物理移动的可移动部件（２０２），　　　　每个所述单元至少包括　　　...
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