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一种在腔室从衬底上剥离光致抗蚀剂材料的方法，包括：　　　　提供具有带图案的光致抗蚀剂层的衬底，该带图案的光致抗蚀剂层曾作为离子植入掩模，从而在带图案的光致抗蚀剂层的外表面上形成了光致抗蚀剂硬壳，因此，该带图案的光致抗蚀剂层由松光致抗蚀剂部分...
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